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电子用高纯气体项目安全评估报告

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电子用高纯气体项目安全评估报告

目录

TOC\o1-9序言 4

一、安全评价程序与评价方法 4

(一)、安全评价程序 4

(二)、划分评价单元 5

(三)、确定采用的安全评价方法 7

二、定性、定量安全评价 9

(一)、安全管理单元 9

(二)、厂址条件、平面布置及建、构筑物单元 11

(三)、生产单元 12

(四)、公用工程及辅助设施单元 15

三、环境评价 19

(一)、环境评价概述 19

(二)、评价电子用高纯气体项目概况 19

(三)、环评单位的基本情况 21

(四)、评价范围及目的