真空技术真空泵性能测量标准方法第4部分：涡轮分子泵发展研究报告

EnglishTitle:DevelopmentResearchReportonVacuumTechnology-StandardMethodsforMeasuringPerformanceCharacteristicsofVacuumPumps-Part4:TurbomolecularPumps

摘要

本报告系统阐述了《真空技术真空泵性能测量标准方法第4部分：涡轮分子泵》标准修订的背景、目的意义、适用范围及主要技术内容。涡轮分子泵作为现代真空技术领域的关键设备，以其快速启动、耐