PAGE

PAGE38

真空镀膜技术研究的国内外文献综述

1真空镀膜技术的发展

真空应用的最重要应用对象就是真空镀膜。利用物理或化学的方法，以真空技术基础，并使用等表面处理技术如离子体、射频、磁控、电子束、分子束、离子束。它能为人们提供各种具有新功能的材料，为新技术、新产品的开发提供一个可靠的基础。在平板光学和平板显示、建筑玻璃、半导体制造、包装工业、刀具制造、太阳能电池等多个领域都得到了长足的发展。

真空镀膜技术的应用是比较早的。爱迪生提出阴极溅射进行表面金属化的工艺方法是薄膜技术在工业上应用的开始。之后，到上世纪三十年代中期，德国马克斯·奥维将教授将这一技术应用于战争，制备各种