预处理技术对类金刚石薄膜光学与抗激光损伤性能的影响探究

一、引言

1.1研究背景与意义

类金刚石薄膜（Diamond-LikeCarbon,DLC）作为一种非晶碳材料，自20世纪70年代被发现以来，因其具备与金刚石相似的优异性能，如高硬度、高耐磨性、良好的化学稳定性、从紫外到红外的光学透明性以及低摩擦系数等，在众多领域展现出巨大的应用潜力，尤其是在光学领域，其应用前景十分广阔。在光学器件中，类金刚石薄膜常被用作增透膜与保护膜。例如，在红外光学系统中，由于其在红外波段具有良好的透过率，可有效减少光学元件表面的反射，提高系统的光学效率；同时，凭借其高硬度和耐磨性，能够为光学元件提供