磁控溅射法制备TiAlN与TiAlSiN薄膜及其性能的对比探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业领域，薄膜材料因其独特的物理、化学和力学性能，扮演着愈发关键的角色，已广泛应用于航空航天、机械制造、电子信息、汽车工业等众多领域。通过在基体表面涂覆薄膜，可以显著改善基体的表面性能，如提高硬度、耐磨性、耐腐蚀性、抗氧化性以及降低摩擦系数等，从而有效延长零部件的使用寿命，提升产品的质量和性能。

TiAlN薄膜作为一种新型的多元硬质薄膜涂层材料，是在传统TiN薄膜的基础上发展而来。与TiN薄膜相比，TiAlN薄膜具有更高的硬度、更低的摩擦因数、良好的高温稳定性和耐腐蚀性等优异性能