使用泰曼干涉仪测量平行平板玻璃的平行性误差主讲人：李敏——光学测量——

光学测量

使用泰曼干涉仪测量平行平板玻璃的平行性误差

由于生产工艺的限制，平行平板玻璃的两个表面往往存在一定的不平行度。平行性误差

泰曼干涉仪

泰曼干涉仪测量平行平板玻璃平行性误差的基本原理

使用泰曼干涉仪测量平行平板玻璃的平行性误差泰曼干涉仪利用光的干涉现象来测量光学元件表面形状和内部均匀性的精密仪器。

使用泰曼干涉仪测量平行平板玻璃的平行性误差基本原理通过产生两束方向完全相同的平行光，并使它们发生干涉，通过观察干涉条纹的形状和数量来分析被测元件的平行性误差。

1——表示半透明半反射玻璃板。O2——表