基本信息

---

下载

文档摘要

---

刻蚀设备在生物芯片制造中的应用与市场前景参考模板

一、刻蚀设备在生物芯片制造中的应用与市场前景

1.刻蚀设备在生物芯片制造中的应用

1.1生物芯片的制作过程

1.2刻蚀设备在生物芯片制造中的具体应用

1.2.1刻蚀硅片

1.2.2制作微阵列

1.2.3刻蚀微孔

2.市场前景

2.1市场需求不断扩大

2.2技术不断升级

2.3跨领域合作增多

二、刻蚀设备技术发展与挑战

2.1刻蚀设备技术发展历程

2.2深紫外（DUV）刻蚀技术

2.3极紫外（EUV）刻蚀技术

2.4刻蚀设备面临的挑战

三、刻蚀设备行业竞