大功率器件用氮化钨各向异性刻蚀工艺的深度剖析与创新实践

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代科技的飞速发展，对大功率器件的性能要求日益提高。在5G通信、新能源汽车、智能电网等众多领域，大功率器件作为核心部件，其性能的优劣直接影响着整个系统的运行效率、稳定性以及可靠性。氮化钨（WN）作为一种新型的宽禁带半导体材料，凭借其独特的物理性质，如高热导率、高电子迁移率、良好的化学稳定性和机械性能，在高温、高频、大功率器件领域展现出巨大的应用潜力，成为了研究的热点。

在大功率器件的制造过程中，刻蚀工艺是至关重要的一环。它直接关系到器件的尺寸精度、表面质量以及最终的性能表现。由于氮化钨材料自身的