基本信息
文件名称：改善Fab良率的最佳方案.pdf
文件大小：2.18 MB
总页数：7 页
更新时间：2025-10-24
总字数：约7.3千字
文档摘要
改善Fa良率的最佳方案
很久以来，定期检测每个工艺步骤增的缺陷来验收用于生产的设备，己
经成为半导体业的惯例。对设备的缺陷状况做