电容式微机械换能器等效模型与结构设计

目录

TOC\o1-3\h\u23024电容式微机械换能器等效模型与结构设计 1

2979第一章绪论 1

178911.1研究背景和意义 1

150481.2残余应力 2

317681.2.1残余应力的来源 2

305601.2.2残余应力的影响 3

108381.3残余应力检测方法及其现状 4

152891.3.1有损检测技术 4

324341.3.2无损检测技术 5

119211.4本课题主要研究内容 6

23043第二章超声波法测残余应力基础原理 1

302522.1