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文档摘要

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真空的检测光学镀膜技术主讲人：王建敏

光学镀膜技术

真空系统的构成真空泵的种类真空泵的工作原理

在薄膜制备过程中，真空度对薄膜的质量有至关重要的作用，需要对真空度进行准确的测量。

真空的检测

确定真空系统内的压强大小，即真空系统所达到的真空度，了解真空环境是否满足光学镀膜的要求。通过持续的检测，可以监控真空度在镀膜过程中的变化情况，及时发现可能出现的泄漏或其他影响真空度的问题。真空检测的目的：真空的检测

常见的真空测量范围从低真空到高真空，不同镀膜工艺对真空度要求差异很大，比如，蒸发镀膜一般需要10?3-10??Pa的真空度，而溅射镀膜要求更高。真空的检测

在真空技术中遇到的气体压强都很低，