静压气体轴承静动态特性及气膜流场特性的深度剖析与理论探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代工业领域，高速高精度设备的发展对核心零部件的性能提出了严苛要求。静压气体轴承作为一种利用外部气源供气，在轴承与轴颈之间形成气膜以实现无接触支撑和旋转的关键部件，凭借其诸多卓越特性，在众多领域发挥着不可或缺的作用。与传统轴承相比，静压气体轴承具有低摩擦、高精度、无污染、高转速和长寿命等显著优势。在半导体制造设备中，光刻机的曝光精度对芯片制程工艺起着决定性作用，而静压气体轴承能够为光刻机的工作台提供超精密的运动支撑，确保在纳米级别的定位精度下稳定运行，从而满足芯片制造对高精度的严格要求；在航空航天领