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文档摘要

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硅基集成钛铌镁酸铅铁电薄膜的制备工艺与电学性能研究

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代电子技术的飞速发展，对电子器件的性能、尺寸和集成度提出了越来越高的要求。铁电薄膜作为一种重要的功能材料，因其具有独特的铁电、介电、压电等性能，在非易失性存储器、传感器、驱动器、电容器等众多电子器件领域展现出巨大的应用潜力，成为了研究热点。

钛铌镁酸铅（PMNT）铁电薄膜是一种具有钙钛矿结构的弛豫铁电材料，它结合了铌镁酸铅（PMN）和钛酸铅（PT）的优点，在介电、压电、热释电等方面表现出优异的性能。与传统的铁电材料相比，PMNT铁电薄膜具有更高的介电常数、更低的矫顽场、更优异的电致伸缩性能等，这些特性