人工壶腹嵴加速度传感器：设计、制备与传感特性的深度解析

一、绪论

1.1研究背景与意义

加速度传感器作为现代科技领域中不可或缺的关键部件，在众多行业和应用场景中发挥着举足轻重的作用。在汽车工业中，加速度传感器用于车辆稳定控制系统（ESC）、防抱死制动系统（ABS）和气囊的触发。通过实时监测车辆的加速度变化，这些系统能够及时响应驾驶员的操作，有效提高行车安全性，降低交通事故的发生概率。在航空航天领域，加速度传感器是飞行器导航系统、飞行控制和载荷监测的核心元件。高精度的加速度传感器为飞行器提供精确的加速度信息，辅助飞行控制系统实现精准的导航和稳定飞行，确保航空航天任务的顺利完成。在消费电子领域，