基本信息
文件名称：清华微纳加工技术精要.pptx
文件大小：5.42 MB
总页数：23 页
更新时间：2025-10-26
总字数：约3.65千字
文档摘要
清华微纳加工技术精要汇报人:前沿工艺与创新应用解析LOGO
目录CONTENTS微纳加工技术概述01清华微纳加工平台02微纳加工核心工艺03典型器件制备案例04技术挑战与发展趋势05
01微纳加工技术概述
定义与背景微纳加工技术的定义微纳加工技术是指在微米和纳米尺度上对材料进行精确加工与制造的技术，涵盖光刻、刻蚀、沉积等核心工艺，是现代微电子和纳米科技的基础。技术发展背景随着半导体工业的飞速发展，器件尺寸不断缩小，传统加工技术面临极限，微纳加工技术应运而生，推动摩尔定律延续。学科交叉特性微纳加工技术融合了物理学、化学、材料科学和工程学等多学科知识，是前沿科技领域的重要交叉研究方向。应用领域概