基本信息
文件名称：2025《磁控溅射镀膜机原理与设计概述》6000字.docx
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更新时间：2025-10-26
总字数：约8.38千字
文档摘要
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磁控溅射镀膜机原理与设计概述
目录
TOC\o1-3\h\u32697磁控溅射镀膜机原理与设计 1
175031.1磁控溅射技术简介 1
86951.1.1二级溅射原理 2
179241.1.2磁控溅射镀膜工作原理 3
94881.1.3磁控溅射镀膜的特点 4
249031.2磁控溅射镀膜机的结构特点 4
122271.1.1真空镀膜机的结构特点和工作过程 4
198011.1.2真空镀膜设备设计概述 5
251271.3镀膜机的零部件设计 6
2511.3.1镀膜室的材料选