2025年大学《物理学》专业题库——电子束在光刻技术中的应用

考试时间：______分钟总分：______分姓名：______

一、选择题（每小题2分，共20分。请将正确选项的字母填在括号内）

1.在电子束光刻中，决定电子束衍射效应显著性的主要物理量是（）。

A.电子的动能B.电子的电量C.光刻胶的厚度D.掩模版的透射率

2.与光学光刻相比，电子束光刻能够实现更高分辨率的主要原因是（）。

A.电子束具有更短的波长B.电子束能量更高C.电子束扫描速度更快D.光刻胶对电子束更敏感

3.在电子透镜中，球差主要是由（）引