SiH4等离子体化学气相沉积的仿真建模分析案例

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TOC\o1-3\h\u24554SiH4等离子体化学气相沉积的仿真建模分析案例 1

227611.1模型定义 1

149031.2模型方程 2

235801.2.1表面反应和表面物质 2

258411.2.2域方程 3

325381.2.3边界条件 3

210121.2.4全局模型方程 3

303261.3建模过程 4

277241.1.1定义变量 4

289411.1.1建立全局模型 6

170121.1.2建立空间相关模型 9

1.1模型定义

本论文通