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文档摘要

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薄膜沉积技术在微流控芯片表面改性中的应用研究报告

一、薄膜沉积技术在微流控芯片表面改性中的应用研究报告

1.1薄膜沉积技术概述

1.2微流控芯片表面改性需求

1.2.1表面能调控

1.2.2亲疏水性调控

1.2.3生物相容性改善

1.3薄膜沉积技术在微流控芯片表面改性中的应用

1.3.1PVD技术在微流控芯片表面改性中的应用

1.3.2CVD技术在微流控芯片表面改性中的应用

1.3.3溶液沉积技术在微流控芯片表面改性中的应用

二、薄膜沉积技术在微流控芯片表面改性中的具体应用

2.1物理气相沉积（PVD）技术

2.2化学气相沉积（CVD）技术

2.3溶液沉积技术

2.4