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文档摘要

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泓域咨询·让项目落地更高效

电子气体生产车间设备选型方案

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一、项目概述 3

二、电子气体生产车间功能需求分析 5

三、设备选型原则 7

四、生产工艺流程分析 9

五、气体生产设备分类 11

六、气体压缩设备选型 13

七、气体纯化设备选型 15

八、气体分配系统选型 17

九、气体泄漏检测设备选型 18

十、气体分析仪器选型 20

十一、空气处理设备选型 22

十二、动力系统设备选型 24

十三、设备自动化控制系统选型 26

十四、车间安全设施选型 29

十五、环境监测设备选型 31

十