;目录;;;;标准的核心价值：对半导体产业链上下游有哪些具体指导意义？;;非接触涡流法的基本电磁场作用原理：交变磁场如何在半导体中产生涡流？;;核心参数与测试精度的关联机制：激励频率、探头间距如何影响测试结果准确性？;;样品准备要求：晶片尺寸、表面状态需满足哪些条件才能符合测试标准？;;数据处理与结果判定：如何依据标准计算电阻率？异常数据该如何处理？;;非接触涡流法在薄膜检测中的独特优势：为何能适配超薄、柔性半导体薄膜测试？;薄膜薄层电阻测试的特殊要求：膜厚均匀性、基底材料对测试结果有何影响？;与传统四探针法的对比突破：在测试效率、样品损伤方面有哪些提升？;;电阻率测试范围界定：标准适用于哪