基本信息
文件名称：GBT-200mm 碳化硅单晶抛光片.doc
文件大小：871.63 KB
总页数：22 页
更新时间：2025-10-28
总字数：约1.15万字
文档摘要
GB××××—××××
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ΨICS29.045CCSH83XXXX-XX-XX实施XXXX-XX-XX发布200mm碳化硅单晶抛光片200mmpolished
ICS29.045
CCSH83
XXXX-XX-XX实施
XXXX-XX-XX发布
200mm碳化硅单晶抛光片
200mmpolishedmonocrystallinesiliconcarbidewafers
（讨论稿）
GB/TXXXXX—XXXX
中华人民共和国国家标准
GB/TXXXXX—XXXX
GB/TXXXXX—XXXX
PA