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一台抽速为100LS的五级双叶干式罗茨真空泵结构计算设计

摘要

近三四十年来，随着电子产业、半导体产业、IT业、食品和制药业的高速发展，人们对清洁干泵的需求更为强烈，罗茨泵因其抽速大、压力范围广、容积效率高、对被抽气体中的杂质不敏感等优点而被广泛应用。多级罗茨泵的极限压力能达到中高真空，且能直排大气，无需再置前级泵，因而在市场上广受欢迎。但多级罗茨泵的制造基本被国外的大型真空企业垄断，国内鲜有生产优质多级罗茨泵的厂商。

本文介绍了国内外罗茨泵相关研究的现状和国外厂商多