2025年大学《化学》专业题库——化学气相沉积技术综述

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一、选择题（每小题2分，共20分。请将正确选项的字母填在题后的括号内）

1.下列哪种技术通常不属于化学气相沉积（CVD）的范畴？

A.常压化学气相沉积(ACVD)

B.等离子体增强化学气相沉积(PECVD)

C.热蒸发沉积

D.化学气相外延(CVD-E)

2.在化学气相沉积过程中，反应物通常以什么形式引入反应区域？

A.固体粉末

B.液体滴剂

C.气体分子

D.