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纳米金属膜光学常数及厚度检测方法发展报告

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摘要

本报告旨在阐述发展纳米金属膜光学常数及厚度检测方法的目的意义、研究范围及主要技术内容。纳米金属膜作为先进制造与前沿基础研究的关键材料，其无损、精准检测技术的突破对于推动极限制造、新质生产力发展及产业链创新具有战略意义。通过规范光谱椭偏法等检测方法，本标准将促进镀膜材料、设备及服务行业的技术升级与可持续发展，同时填补国内外相关领域的计量技术空白。

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要点列表

1.战略需求：发展纳米金属膜无损、精准检测技术是支撑国家先进制造与前瞻性基础研究的核心环节。

2.科学意义：推动光学无损检测领域的前沿计量技术发展，助力材料—工艺—器件全链条