基本信息

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文档摘要

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泓域咨询·让项目落地更高效

电子级气体分配系统方案

目录TOC\o1-4\z\u

一、项目总体概述 3

二、系统设计总体原则 5

三、气体分配系统功能定位 7

四、系统建设目标与范围 9

五、工艺流程总体设计 11

六、气体种类与特性分析 12

七、气源供给方式与配置 14

八、气体纯度与质量控制要求 16

九、气体输送路径与管网布局 18

十、主干管路设计方案 20

十一、压力控制与调节系统设计 22

十二、流量控制与监测方案 23

十三、气体储存与缓冲装置设计 24

十四、阀门与接头选型原则 26

十五、材料选用与