基本信息
文件名称：DISCO东锜轮毂型切割刀片ZHZZ-SD2000-H1-70、ZHZZ-SD3000-H1-50、ZHZZ-SD3500-H1-70、ZHZZ-SD4000-H1-70、ZHZZ-SD4500-H1-70、ZHZZ-SD4800-H1-70说明书.pdf
文件大小：1.29 MB
总页数：2 页
更新时间：2025-11-01
总字数：约3.17千字
文档摘要
ElectroformedBondHubBlades
ZHZZSERIES
10μm
H1
ZHZZ系列是针对狭窄切割道等使用薄刃切割刀片的加工所开发的轮毂
型切割刀片。采用新开发的高强度的H1结合剂，来减少薄刃区域在切
割时发生的切割刀片破损及蛇行，实现稳定加工。以超薄的10μm
切割刀片代表系列，对今后更狭窄切割道晶圆的应用做出贡献。
●减少在薄切割道区域的切割刀片破损及蛇行
●可实现狭窄切割道的稳定加工
●实现10μm的超薄轮毂型切割刀片
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ZHZZ系列可实现10μm的切割槽宽度。相较于20μm及40μm切割刀片，
刀刃厚度虽然非