（3,3-二甲基-1-丁炔）六羰基二钴市场潜力大我国企业正进行其技术和产能布局

（3,3-二甲基-1-丁炔）六羰基二钴，简称CCTBA，分子式（C6H10）CO2（CO）6，是一种金属化前驱体材料，具有较高的挥发性、较低的热分解温度、对水氧极其敏感等特点。

前驱体材料是半导体薄膜沉积工艺及外延生长、离子注入掺杂、蚀刻、清洗等工艺的核心材料，半导体薄膜沉积工艺是半导体制造的三大核心工艺之一。近年来，随着半导体技术向10nm工艺节点以下演进，钴前驱体凭借优异的导电特性、更强的抗电迁移能力等特点，受到了市场关注。

钴前驱体分为液体钴前驱体、固体钴前驱体两大类，其中液体钴前驱体具