2025至2030中国电子特气纯化工艺创新与集成电路制造客户认证周期

目录

TOC\o1-3\h\z\u一、中国电子特气纯化工艺发展现状与行业背景 4

1、电子特气在集成电路制造中的关键作用 4

电子特气种类及其在晶圆制造各环节的应用 4

高纯度要求对纯化工艺提出的挑战 5

2、当前国内电子特气纯化技术水平与产业链成熟度 5

主流纯化技术路线（吸附、精馏、膜分离等）应用现状 5

国产化率与进口依赖程度分析 6

二、2025–2030年电子特气纯化技术创新趋势 8

1、前沿纯化工艺研发方向 8

低温精馏与分子筛吸附耦合技术突破