基本信息

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文档摘要

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ICS31.030

CCSL90

中华人民共和国国家标准

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GBT461912025

()

电子级五二甲氨基钽

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Electronicradeentakisdimethlamidetantalum

gpy

2025-10-05发布2026-05-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT461912025

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)提出并归口。

SACTC203

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本文件起草单位南大光电半导体材料有限公司中国电子技术标准化研究院苏州实验室江苏南

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大光电材料股份有限公司苏州源展材料科技有限公司长江存储科技有限责任公司中芯国际集成电

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路制造北京有限公司全椒南大光电材料有限公司安徽亚格盛电子新材料股份有限公司宁波南大

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光电材料有限公司合肥安德科铭半导体科技有限公司南大光电乌兰察布有限公司南大光电淄博

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有限公司安徽博泰电子材料有限公司

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本文件主要起草人陈德义曹可慰茅炳荣徐文涛杨敏史泽远孙明璐陈鹏宇孙鹏张婷

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