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文档摘要

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硬脆材料双动研磨抛光机的设计

摘要：研磨是超精密中一种常用的方式，其加工的精度高，加工的范围也比较广。现在使用的双面的研磨机，上、下研磨盘不动，加工的轨迹单一，加工效率不是很高，而现在所设计的双动平面研磨是在双面研磨机机构的基础上，通过对其结构的改变来使研磨机即能双面研磨又能转动上下研磨盘的研磨方式，这样的加工方式可以提高研磨效率和研磨精度。

本设计通过对双面研磨机的结构进行分析，再结合不同机构的运动方式，从而设计出一种新型的行星式双面双动平面研磨机构。行星运动能保证研磨轨迹基本不会重复，从而改善了研磨质量。本研磨机的设计主要设计其减速系统、行星轮系、上研磨盘的控制系统以及传动装置等，并对齿