ECR等离子体离子束平台构建及对硅基纳米材料生长调控的深度探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科学研究与工业应用中，等离子体与纳米材料相关技术占据着举足轻重的地位，而ECR等离子体离子束平台建设以及硅基纳米材料的调控生长研究，更是其中的前沿与热点领域。

ECR（电子回旋共振）等离子体离子束平台是基于电子回旋共振原理构建的先进科研装置。在该平台中，当外加微波频率与电子在磁场中的回旋频率相等时，会发生共振现象，电子持续吸收微波能量，进而产生高密度等离子体。这种等离子体具备诸多优异特性，如离子能量和束流密度可精确调控、离子种类丰富多样等。这些特性使得ECR等离子体离子束平台在众多