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文件名称：先进表征方法与技术 课件 2.3 聚焦离子束功能.pptx
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总页数：14 页
更新时间：2025-11-08
总字数：约3.29千字
文档摘要
2.3聚焦离子束功能
3.1成像与SEM中生成图像的方式相同，聚焦的离子束也可以在样品表面上光栅扫描，并且可以检测发射的电子、粒子（原子和离子）和电磁辐射。传统的SEM成像是基于对二次电子（SE）的检测。到目前为止，FIB中的大多数成像都是基于检测低能电子，通常被称为离子诱导二次电子（Ion-InducedSecondaryElectron,ISE）。
3.1成像通常，每个入射的5–30keVGa离子会产生1–10个能量低于10eV的二次电子。这些电子产自受离子束辐照的样品区最顶层的几个原子层区域，在这些原子层中，入射离子撞击固体，产生的背散射或溅射粒子离开样品。低能电子的总