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文档摘要

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§5.4扫描静电力/磁力显微镜

讲授人：XXX

《材料表征基础》

战略新兴领域“十四五”规划教材

静电力、磁力的作用

EFM、MFM成像模式

误差与假象

EFM、MFM的应用

1.静电力、磁力的作用

小磁针在外磁场中受力与磁场的不均匀性有关

电偶极子在静电场中的受力与上式完全一样

2.EFM、MFM的成像模式

1)利用磁场或静电力对针尖的作用，测量磁性或静电材料。

2)轻敲-抬高模式：先扫描一条线的形貌，再相对向上抬高一定距离作场的测量。

3)静态测量模式：针尖在一定高度直接测量悬臂受力。直接，噪声大。

4)动态测量模式：针尖在样品上方作受迫振动。受力时，振幅和相位发生变化。

间接测量，但