§5.1扫描探针显微镜的工作原理讲授人：XXX《材料表征基础》战略新兴领域“十四五”规划教材

内容提PM基本原理振动隔离系统机械运动与扫描系统信号采集反馈控制05环境控制系统

1.扫描探针显微镜的基本原理01.微区力的测量利用探针上的力学传感器测量针尖下方的作用力，从而测量表面不同区域相互作用性质。03.微区其他信号测量利用特殊传感探针测量表面微区的光学、热学、化学性质。02.微区电的测量通过导电探针测量样品表面微区的电流电压等电学信号，获得表面导电性、电势及电子结构等的分布。

1.扫描探针显微镜的基本原理扫描探针显微镜基本组成：1)机械扫描系统:用于驱动探针靠近样品