基本信息
文件名称：材料表征基础 课件 4.4 电子背散射衍射技术.pptx
文件大小：13.77 MB
总页数：9 页
更新时间：2025-11-08
总字数：约1.55千字
文档摘要
§4.4电子背散射衍射技术
讲授人：XXX
《材料表征基础》
战略性新兴领域“十四五”高等教育系列教材
电子背散射衍射技术
的硬件系统
菊池花样产生的原理
电子背散射衍射花样
的标定
EBSD样品的制备
05
电子背散射衍射技术
的应用
1.电子背散射衍射技术的硬件系统
EBSD数据采集与分析系统示意图
在扫描电镜中，将样品从水平方向向荧光屏倾斜（一般倾转65°~70°），以通过减少背散射电子离开表面的路径来减少吸收信号，从而获得足够强的背散射衍射信号。电子束与样品发生相互作用后产生的背散射电子、在离开表面的过程中产生衍射，因此叫做电子背散射衍射技术。
2.菊池花样产生的原理
当电子束以较