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文档摘要

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§4.2扫描电镜的主要性能

讲授人：XXX

《材料表征基础》

战略性新兴领域“十四五”高等教育系列教材

扫描电镜的分辨率

影响分辨率的因素

放大倍数

1.扫描电镜的分辨率

分辨率的定义

扫描电镜的空间分辨率定义为可以将两个物体区分开的最小距离。

扫描电镜的信号种类

电子与样品作用，由于深入样品距离的不同，可以获得不同的物理信号。分别是二次电子，背散射电子，吸收电子，特征X射线，俄歇电子。

各种物理信号的空间分辨率

瑞利判据

2.影响分辨率的因素

1)电子束直径

在扫描电镜的电磁透镜作用下，从电子枪出来的电子被会聚到直径为d0、张角为α的电子束。考虑到电磁透镜的球差、色差、衍射效应等原因，