§4.1扫描电镜的工作原理和构造

讲授人：XXX

《材料表征基础》

战略性新兴领域“十四五”高等教育系列教材

SEM的工作原理

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SEM的基本构造

概述

1.概述

1965年以后，是扫描电子显微镜的精细化发展阶段。

1968年，场发射扫描电子显微镜研发成功，极大提高了扫描电子显微镜的分辨率。

2005年，美国发布全球第一台具有超高分辨率的带有低真空的场发射电镜，其分辨率为1.0nm。

2010年，冷场扫描电镜的上市将分辨率提升到了0.4nm。

1932年，克诺尔首次提出了扫描电镜可放大成像的概念。

1938年，阿登纳在透射电子显微镜上添加了扫描线圈，并获得了第一张扫描电镜图像。

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