基本信息

---

下载

文档摘要

---

§2.6小角掠入射讲授人：XXX《材料表征基础》战略性新兴领域“十四五”高等教育系列教材

内容提膜结构分析掠入射X射线全反射表面形貌成像模式薄膜性质对X射线反射率的影响

1.薄膜结构分析一般或厚薄膜：薄膜的衍射峰与衬底的衍射峰峰位没有重叠时，用传统的θ-2θ扫描进行薄膜的物相分析。超薄的薄膜：薄膜的衍射峰与衬底的衍射峰峰位重叠时，可以采用掠入射来消除衬底的衍射峰而只留下薄膜的衍射峰。小角掠入射：指X射线以非常小的入射角（5°）照射到薄膜上，并在材料表面产生全反射现象。X射线掠入射衍射（grazingincidencediffraction,GID）

1.掠入射