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车用压力传感器设计

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摘要

现阶段，智能化、网联化已经成为汽车行业的主要发展趋势，传感器在车辆中的应用也愈发重要。比如通过传感器测量出发动机的排气压力对于改善车辆的动力性与经济性有着重要意义，但是普通的传感器无法承受发动机的排气温度，所以研制出能在高温恶劣环境下应用的压力传感器对于汽车工业的进步有着重要意义。

由于Si基压力传感器存在着高温漏电的问题，而作为第三代宽禁带半导体材料，SiC则具有优秀的机械、电子以及化学性能，在制作压力传感器方面具有广阔的应用前景。所以目前SiC高温压力传感器已经成为耐高温压力传感器方面的主要研究趋势。

基于上述应用背景以及技术背景，本文的主要目