4.1原位X射线光电子能谱

1.1引言X射线光电子能谱仪（XPS）是一种有效的表面分析技术，广泛用于基础科研、先进材料研究、高精尖技术等领域。XPS利用X射线辐射样品，使得原子或分子的内层电子或者价电子受到激发而成为光电子，通过测量光电子的信号来表征样品表面的化学组成、各元素的结合能以及价态。瑞典Uppsala大学的K.Siegbahn及同事于上世纪60年代中期开发研制了XPS这种新型的表面分析仪器。目前XPS已经成为研究材料表面组成和化学状态的主要方法，K.Siegbahn也在1981年因为这一贡献被授予诺贝尔物理学奖。

XPS的工作原理是光电效应，由于光电子的非弹性平均自由程较小，