2.2离子束与固体的相互作用

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012离子束与固体的相互作用

2.1离子束与固体的相互作用离子-固体相互作用在许多不同的应用中发挥着重要作用，从微电子器件的制造到理解宇宙气体的分布。本节简介仅限于材料科学中使用FIB系统的相关过程和条件。

当离子撞击固体时，它会通过与样品原子的相互作用而失去动能。这种从离子到固体的能量转移导致了许多不同的过程（见图4），包括：离子散射和背散射、电子发射、电磁辐射、原子溅射与离子发射、样品损伤和样品加热等。离子最终会停留在固体中，导致离子的注入。除了电磁辐射产生之外，所有这些过程对FIB和FIB–SEM系统的应