溶液法构筑Bi6Fe2Ti3O18铁电薄膜及其性能调控研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代材料科学与技术领域，铁电薄膜凭借其独特的物理性质，展现出极为广阔的应用前景，成为了研究的焦点之一。铁电薄膜是一种具有自发极化特性的功能材料，其极化方向可在外加电场的作用下发生反转，呈现出典型的电滞回线。这种特殊的性质赋予了铁电薄膜一系列优异的性能，如高介电常数、压电效应、热释电效应等，使其在众多领域中具有不可替代的作用。

在微电子领域，铁电薄膜被广泛应用于铁电随机存取存储器（FeRAM）。与传统的半导体存储器相比，FeRAM具有非易失性、高速读写、低功耗等显著优势。非易失性意味着在断电后，存