基本信息
文件名称：《硅微谐振压力传感器性能试验方法》.pdf
文件大小：2.19 MB
总页数：21 页
更新时间：2025-11-08
总字数：约2.93万字
文档摘要
T/XXXXXXX—XXXX
硅微谐振压力传感器性能试验方法
1范围
本标准规定了硅微谐振压力传感器性能的试验条件、试验的一般规定、试验项目及试验方法、数据
计算及处理。
本标准适用于硅微谐振压力传感器（包括绝压传感器、差压传感器和表压传感器，以下简称传感器）。
2规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，
仅该日期对应的版本适