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文件名称:先进表征方法与技术 课件 1.1 像差校正电子显微术.pptx
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总页数:37 页
更新时间:2025-11-08
总字数:约8.49千字
文档摘要

1.1像差校正电子显微术

1像差校正电子显微术在透射电子显微镜(TEM)的发展史中,提高分辨率一直是科学家们追求的重要目标。然而,电镜的分辨率受到多种因素的限制,其中最关键的是光学系统中固有的像差。这些像差,包括球差、色差和像散,会导致成像时电子波前的畸变,从而影响到成像的清晰度和精确度。传统的电镜设计无法完全消除这些像差,尤其是球差,它是由于电子透镜的球面形状导致电子束在焦平面上无法完美会聚的结果。这种球面像差限制了电镜在高分辨率下的性能,因为即使在理想条件下,球差也会引入成像的模糊,使得微观结构的细节无法被准确分辨。

为了突破这一限制,像差校正技术应运而生。通过引入特殊设计的电磁或电静