高/微流量减压阀气压稳定特性及高精度测试系统的深度研究

一、绪论

1.1研究背景与意义

在现代工业和科技领域，对流体压力精确控制的需求无处不在，高/微流量减压阀作为实现这一目标的关键设备，其性能优劣直接关系到众多系统的稳定运行与安全。在半导体制造过程中，气体的流量和压力需精确控制在微小范围内，高/微流量减压阀能够确保气体以稳定的压力和流量输送至反应腔室，这对于保证芯片制造的精度和一致性至关重要，微小的压力波动都可能导致芯片质量问题，影响产品良率。在航空航天领域，飞行器的姿态控制、推进系统等依赖于高/微流量减压阀精确稳定地调节液压或气压，以满足不同飞行工况下的严格要求，保障飞行安全