电容式微机械超声换能器：从设计到封装的关键技术与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在超声技术领域，电容式微机械超声换能器（CapacitiveMicromachinedUltrasonicTransducer，简称CMUT）正逐渐崭露头角，成为推动超声技术发展的关键力量。随着科技的飞速发展，各个领域对超声换能器的性能提出了越来越高的要求，传统的压电式超声换能器在某些方面已难以满足这些需求，而CMUT凭借其独特的优势，为超声技术的发展开辟了新的道路。

CMUT基于微机电系统（MEMS）技术制造，通过微加工半导体膜片的偏转来传输和检测超声波。其工作原理基于电-力-声