基本信息
文件名称：《基于探针台的非制冷红外传感器MEMS半成品检测》.pdf
文件大小：2 MB
总页数：11 页
更新时间：2025-11-09
总字数：约1.27万字
文档摘要
T/XXXXXXX—XXXX
基于探针台的非制冷红外传感器MEMS半成品检测
1范围
本标准规定了基于探针台的非制冷红外传感器MEMS半成品检测的术语、技术要求、测试方法、检
测标准等要求。
本标准适用于基于半自动探针台针对芯片尺寸为1k×1k、640×512、384×288，像元尺寸为17、
12um的非制冷红外探测器半成品测试工作。其他类型探针台及其余尺寸探测器芯片亦可参照使用。
2规范性引用文件