钛酸钡基薄膜的制备工艺与性能调控研究：铁电与磁电特性的探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代电子技术飞速发展的进程中，对具有特殊性能材料的探索与研究始终是推动该领域进步的关键驱动力。其中，钛酸钡（BaTiO?，BTO）铁电薄膜和钛酸钡-铁酸钴（BaTiO?-CoFe?O?）磁电薄膜凭借其独特的物理性质，在众多电子器件应用中占据着举足轻重的地位。

钛酸钡铁电薄膜作为最早被发现的钙钛矿型铁电材料之一，拥有氧八面体结构，展现出介电、铁电、非线性光学、热释电以及压电等多种优异特性。这些特性使得钛酸钡铁电薄膜在动态随机存取存储器（DRAM）、铁电随机存取存储器（FeRAM）、传感器、驱