红外焦平面集成微透镜制作技术：工艺、材料与性能优化的深度剖析

一、引言

1.1研究背景与意义

随着现代信息技术的飞速发展，红外探测技术在军事、工业、医疗、安防以及消费电子等众多领域展现出不可或缺的地位。红外焦平面探测器作为红外探测系统的核心部件，其性能优劣直接关乎整个系统的探测能力与应用效果。在过去几十年里，红外焦平面探测器经历了从简单的单元探测器到大规模焦平面阵列的重大变革，不断朝着高灵敏度、高分辨率、小型化以及低成本的方向发展。

然而，传统红外焦平面探测器普遍存在填充因子低的问题，即探测器光敏区域占像素总面积的比例较小，这严重限制了探测器对入射红外光的收集和利用效率，导致探测器的灵敏度